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J-GLOBAL ID：200902198720391097   整理番号：93A0398530

特集 ナノメータスケールの加工技術 加工界面での化学/物理反応に着目して 超精密加工における化学現象とその利用 特集号編集にあたって

Special Issue on Nanometer-scale Machining and Processing Technology - From the Viewpoint of Chemical/Physical Reaction on Surfaces. Chemical Phenomena and Its Application in Ultraprecision Processing.

著者 (1件)： 安永暢男 (東海大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 59  号： 4  ページ： 539-542  発行年： 1993年04月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路の製作には超微細加工技術のナノテクノロジー技術...

シソーラス用語： 超精密加工 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• 1) 谷ロ紀男 : ナノテクノロジーの基礎と応用, 工業調査会, (1988) 19.
• 2) 土肥俊郎 : 無擾乱鏡面の創製原理とメカノケミカルボリシングの加工促進機構, 埼玉大学紀要 [教育学部], 40, 2 (1991) 31.

タイトルに関連する用語 (7件)： 界面 ,  化学 ,  物理 ,  着目 ,  精密加工 ,  化学現象 ,  編集