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J-GLOBAL ID：200902198738299961   整理番号：04A0488173

セラミック微細立体リソグラフィーに及ぼす材料特性の影響

The influences of the material properties on ceramic micro-stereolithography

著者 (2件)： SUN C (Univ. California at Los Angeles, CA, USA) ,  ZHANG X (Univ. California at Los Angeles, CA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A101  号： 3  ページ： 364-370  発行年： 2002年10月30日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 複雑な三次元セラミック微細構造物の作製にセラミック微細立体リ...

シソーラス用語： *レーザリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： シリカ ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： セラミック ,  微細 ,  立体 ,  リソグラフィー ,  材料特性