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J-GLOBAL ID：200902198938309724   整理番号：00A0086137

誘導結合フルオロカーボンプラズマプロセシングにおける容量結合の効果

Effect of capacitive coupling on inductively coupled fluorocarbon plasma processing.
著者 (7件)：
SCHAEPKENS M

SCHAEPKENS M について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

, 
RUEGER N R

RUEGER N R について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

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BEULENS J J

BEULENS J J について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

, 
LI X

LI X について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

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STANDAERT T E F M

STANDAERT T E F M について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

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MATSUO P J

MATSUO P J について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について

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OEHRLEIN G S

OEHRLEIN G S について

(State Univ. New York, New York)

State Univ. New York, New York について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 17  号： 6  ページ： 3272-3280  発行年： 1999年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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*脂肪族フッ素化合物

脂肪族フッ素化合物 について

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分類 (2件)：
分類
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プラズマ応用 
(BJ02110K)

プラズマ応用 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

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誘導結合

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