マイクロ波プラズマ中のナノ結晶MoS<sub>2</sub>およびWS<sub>2</sub>の合成

文献

J-GLOBAL ID：200902199237147572 整理番号：98A0632823

マイクロ波プラズマ中のナノ結晶MoS₂およびWS₂の合成

Synthesis of nanocrystalline MoS₂ and WS₂ in a microwave plasma.

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資料名：
巻： 35 号： 3/4 ページ： 236-244 発行年： 1998年05月
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

マイクロ波中でのH₂Sとヘキサカルボニ...

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半導体薄膜

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