4H-炭化けい素のためのプレーナエッジ終端

ALOK D; RAGHUNATHAN R; BALIGA B J

文献

J-GLOBAL ID：200902199317224047 整理番号：96A0857743

4H-炭化けい素のためのプレーナエッジ終端

Planar Edge Termination for 4H-Silicon Carbide Devices.

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巻： 43 号： 8 ページ： 1315-1317 発行年： 1996年08月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

前回の論文において,理想的平行面絶縁耐圧が得られる6H-炭化...

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