文献
J-GLOBAL ID：200902199327357487   整理番号：95A0854500

Vacuum photoresists on the base of phenoxazine and their lithographic properties.

著者 (4件)：
AGABEKOV V E

AGABEKOV V E について

(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)

Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN について

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IGNASHEVA O E

IGNASHEVA O E について

(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)

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GUDIMENKO Y I

GUDIMENKO Y I について

(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)

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BELYATSKY V N

BELYATSKY V N について

(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)

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資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 2438  ページ： 889-899  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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