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J-GLOBAL ID：200902199477323513   整理番号：01A0089104

超小型電子機械装置向け炭化けい素

Silicon carbide for microelectromechanical systems.
著者 (6件)：
MEHREGANY M

MEHREGANY M について

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

Case Western Reserve Univ., Ohio, USA について

, 
ZORMAN C A

ZORMAN C A について

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

Case Western Reserve Univ., Ohio, USA について

, 
ROY S

ROY S について

(Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA)

Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA について

, 
FLEISCHMAN A J

FLEISCHMAN A J について

(Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA)

Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA について

, 
WU C-H

WU C-H について

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

Case Western Reserve Univ., Ohio, USA について

, 
RAJAN N

RAJAN N について

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

Case Western Reserve Univ., Ohio, USA について


資料名：
International Materials Reviews  (International Materials Reviews)

International Materials Reviews について


巻： 45  号： 3  ページ： 85-108  発行年： 2000年 
JST資料番号： D0258B  ISSN： 0950-6608  CODEN： INMREO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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近年,標記の炭化けい素(SiC)が広いバンドギャップの半導体...
シソーラス用語：
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*炭化ケイ素

炭化ケイ素 について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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電子

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機械装置

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, 
炭化けい素

炭化けい素 について


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