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J-GLOBAL ID：200902199949630814   整理番号：02A0692308

レーザアニーリングによる表面フリー技術(SUFTLA)と駆動回路集積プラスチック薄膜ポリシリコンTFT-LCDへの応用

Surface-Free Technology by Laser Annealing (SUFTLA) and Its Application to Poly-Si TFT-LCDs on Plastic Film With Integrated Drivers.

著者 (4件)： INOUE S (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  UTSUNOMIYA S (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  SAEKI T (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN) ,  SHIMODA T (Seiko Epson Corp., Nagano, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 49  号： 8  ページ： 1353-1360  発行年： 2002年08月 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜素子およびそのバックプレーンを,XeClエキシマレーザ照...

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,...

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分類 (3件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザアニーリング ,  駆動回路 ,  集積 ,  プラスチック薄膜 ,  ポリシリコン ,  TFT-LCD ,  応用