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J-GLOBAL ID:200902200346275554   整理番号:05A0297870

電気化学的ナノテクノロジーを用いる高機能性薄膜の創造

Creation of Highly Functional Thin Films Using Electrochemical Nanotechnology
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 346-362  発行年: 2004年 
JST資料番号: W1315A  ISSN: 1527-8999  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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電気化学的操作・装置一般  ,  固体デバイス製造技術一般 
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