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J-GLOBAL ID:200902200470531313   整理番号:09A0158044

過酸化水素含有コロイド状シリカによるチタンの化学機械研磨-鏡面研磨および表面特性

Chemical mechanical polishing of titanium with colloidal silica containing hydrogen peroxide-mirror polishing and surface properties
著者 (2件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 68-74  発行年: 2009年01月 
JST資料番号: Y0283A  ISSN: 0287-4547  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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cpTi(チタン)の化学機械研磨(CMP)を2種類のスラリー...
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分類 (2件):
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その他の表面処理  ,  歯科学一般 
引用文献 (23件):
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