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J-GLOBAL ID：200902200635804514   整理番号：09A0089561

DVD相変化材料の時分割構造解析

Time-Resolved X-ray Structural Investigation for Amorphous-Crystal Phase Change Process of DVD Optical Memory Materials

著者 (2件)： 木村滋 (高輝度光科学研究セ) ,  田中義人 (理研 播磨研 放射光科学総合研究セ)
資料名： 日本結晶学会誌  (Journal of the Crystallographic Society of Japan)
巻： 50  号： 6  ページ： 354-358  発行年： 2008年12月31日 
JST資料番号： G0232A  ISSN： 0369-4585  CODEN： NKEGAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SPring-8を利用し,相変化光ディスク材料の消去過程に対応する非晶質-結晶相変化過程を直接観測するために,時分割X線回折測定と光学反射率測定を同時に行なえるX線ピンポイント構造計測システムを開発した。書き換え可能な相変化光ディスクの代表的な母体材料Ge₂Sb₂Te₅およびAg₃In_3.8Sb_75.0Te_17.7薄膜をスパッター法で作製した。これらの薄膜試料についてナノ秒レベルで起こる結晶化過程を時分割X線回折で測定することに成功した。光学反射率も同時に測定して,(1)レーザーによる光記録とナノレベルでの物質の構造変化が同じ時間尺度で起こる,そして(2)二つの材料で相変化直後の結晶成長過程が異なることを見出した。

シソーラス用語： DVD【ディスク】 ,  *材料 ,  光反射 ,  構造解析 ,  時間依存性 ,  結晶化 ,  *X線回折 ,  相転移 ,  *スパッタ蒸着 ,  *テルル化物 ,  *アンチモン化合物 ,  ゲルマニウム化合物 ,  銀化合物 ,  インジウム化合物 ,  *固相成長 ,  蒸着膜
準シソーラス用語： DVD相変化材料 ,  *相変化材料

分類 (2件)： X線回折法  (BK01020I) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

引用文献 (21件)：

• OVSHINSKY, S. R. Phys. Rev. Lett. 1968, 21, 1450
• FEINLEIB, J. Appl. Phys. Lett. 1971, 18, 252
• CHEN, M. Appl. Phys. Lett. 1986, 49, 502
• TERAO, M. Proc. SPIE. 1986, 695, 105
• YAMADA, N. Proc. of SPIE. 1986, 695, 79

タイトルに関連する用語 (4件)： DVD ,  相変化材料 ,  時分割 ,  構造解析