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J-GLOBAL ID：200902200893978071   整理番号：07A1008052

Fine Channel Mist CVD法による単結晶ZnO薄膜の作製(2)

著者 (3件)： 川原村敏幸 (京大 大学院) ,  西中浩之 (京大 大学院) ,  藤田静雄 (京大 国際融合創造セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 1  ページ： 565  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *単結晶 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (5件)： MISt ,  CVD法 ,  単結晶 ,  ZnO薄膜 ,  作製