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J-GLOBAL ID：200902201129005898   整理番号：06A0305863

圧電マイクロマニプレータにおけるシリコンテクノロジー力センサの製作,モデリングおよび集積化

Fabrication, modeling and integration of a silicon technology force sensor in a piezoelectric micro-manipulator

著者 (5件)： PEREZ Ricardo (Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA) ,  CHAILLET Nicolas (Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA) ,  DOMANSKI Krzysztof (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL) ,  JANUS Pawel (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL) ,  GRABIEC Piotr (Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 128  号： 2  ページ： 367-375  発行年： 2006年04月19日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究ではマイクログリッパに集積されたシリコンテクノロジーセ...

シソーラス用語： マイクロアクチュエータ ,...
準シソーラス用語： 触感センサ

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分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  マイクロマニプレータ ,  力センサ ,  製作 ,  モデリング ,  集積化