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J-GLOBAL ID：200902201130947198   整理番号：09A0151286

安全・安心のためのセラミックセンサ(I)-化学センサ- 有機無機ハイブリッド薄膜VOCセンサ

著者 (3件)： 松原一郎 (産業技術総合研) ,  伊藤敏雄 (産業技術総合研) ,  村山宣光 (産業技術総合研)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 44  号： 2  ページ： 113-117  発行年： 2009年02月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 人体及び環境に対する影響から揮発性有機化合物(VOC)の排出が規制され,VOC濃度とガス種を計測できるVOCセンサが求められている。本稿では,有機無機ハイブリッド材料の薄膜素子化プロセス及びVOCセンサ特性について解説した。1)センサ材料:有機/MoO₃インターカレーション化合物,2)薄膜素子化プロセス:MoO₃の作製(CVD薄膜,基板(LaAlO₃),基板温度,配向性,表面構造,密着性),ポリアニリン(PANI)/MoO₃薄膜の作製(インターカレーション反応),3)センサ特性:応答機構(ホルムアルデヒド及びアセトアルデヒドに対する応答,有機物質層への拡散・吸着),選択性,高感度化(高純度化)。

シソーラス用語： *有機-無機ハイブリッド ,  *化学センサ ,  *揮発性有機化合物 ,  酸化モリブデン ,  ポリアニリン ,  層間化合物 ,  インターカレーション ,  蒸着膜 ,  化学蒸着 ,  基板 ,  アルミン酸塩 ,  ランタン化合物 ,  基板温度 ,  配向 ,  表面構造 ,  浸漬 ,  密着性 ,  応答特性 ,  速度 ,  応答時間 ,  拡散 ,  吸着 ,  純度 ,  電荷移動 ,  層状組織 ,  選択性 ,  高感度 ,  脂肪族アルデヒド
準シソーラス用語： 薄膜センサ ,  VOC【化合物】 ,  インターカレーション化合物 ,  アルミン酸ランタン ,  応答速度 ,  高純度 ,  層状構造

分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

物質索引 (2件)： ホルムアルデヒド ,  アセトアルデヒド

引用文献 (16件)：

• 松原一郎. IEEJ Trans. 2008, 124, 119-124
• 松原一郎. セラミックス. 2004, 39, 398-400
• MATSUBARA, I. Bull. Chem. Soc. Jpn. 2004, 77, 1231-1237
• MATSUBARA, I. Sens. Actuators B. 2005, 108, 143-147
• WANG, L. Chem. Mater. 2003, 15, 2873-2878

タイトルに関連する用語 (6件)： 安心 ,  セラミック ,  化学センサ ,  有機無機ハイブリッド ,  薄膜 ,  VOC