Tyco Electronics, CA, USA について
LANG J H について
Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について
SLOCUM A H について
Massachusetts Inst. Technol., MA, USA について
Journal of Microelectromechanical Systems について
曲がり梁 について
DRIE について
固体デバイス製造技術一般 について
梁,桁 について
曲がり梁 について
双安定 について
メカニズム について