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J-GLOBAL ID:200902201177855259   整理番号:07A0419695

圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性

著者 (5件):
資料名:
巻: 127  号:ページ: 297-302  発行年: 2007年05月01日 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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LCR部品  ,  固体デバイス製造技術一般 
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