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J-GLOBAL ID：200902201327882470   整理番号：08A0938726

線形場及び交差場大気圧プラズマジェットの対照的特性

Contrasting characteristics of linear-field and cross-field atmospheric plasma jets

著者 (2件)： WALSH J. L. (Dep. of Electronic and Electrical Engineering, Loughborough Univ., Leices LE11 3TU, GBR) ,  KONG M. G. (Dep. of Electronic and Electrical Engineering, Loughborough Univ., Leices LE11 3TU, GBR)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 93  号： 11  ページ： 111501  発行年： 2008年09月15日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基礎的性質と高分子材料のエッチング効率の観点から二種類の大気圧プラズマジェットを実験により調べた。一方のプラズマジェットは電場が気体流れ場に垂直な交差場構成で,他方は電場が流れ場に平行な線形場装置である。線形場ジェットは下流の応用領域に電子を輸送し,そこでより活動的プラズマ化学を促進する。これはポリイミド膜のエッチング速度が交差場の場合に比べて13倍であることに起因した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 場 ,  *プラズマジェット ,  気圧 ,  *電場効果 ,  流れ場 ,  ポリイミド ,  *加工速度 ,  エッチング ,  プラズマ処理
準シソーラス用語： *エッチング速度 ,  交差場 ,  線形場 ,  大気圧

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 線形 ,  交差 ,  大気圧プラズマジェット ,  対照