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J-GLOBAL ID：200902201532505450   整理番号：04A0668241

MEMS設計・製造技術 MEMSの技術動向と設計技術の役割

著者 (1件)： 藤田博之 (東大 生産技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 9  ページ： 1133-1136  発行年： 2004年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では最新のMEMS技術の動向と実用化の進展状況を紹介し,...

シソーラス用語： *マイクロエレクトロニクス ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• 藤田博之. マイクロ・ナノマシン技術入門. 2003
• 江刺正喜. マイクロマシニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• 江刺正喜. マイクロオプトメカトロニクスハンドブック. 1997
• Proceedings of IEEE. 1998, 86
• YAZDI, N. Proceedings of IEEE. 1998, 86, 1640

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  設計 ,  製造技術 ,  動向 ,  役割