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J-GLOBAL ID：200902201626742073   整理番号：09A1147327

化学蒸着により作成したすべてグラフェンのエレクトロメカニカルスイッチ

All graphene electromechanical switch fabricated by chemical vapor deposition

著者 (4件)： MILANINIA Kaveh M. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  BALDO Marc A. (Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  REINA Alfonso (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA) ,  KONG Jing (Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Massachusetts Inst. of Technol., Cambridge, Massachusetts 02139, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 95  号： 18  ページ： 183105  発行年： 2009年11月02日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2枚の多結晶グラフェン膜からできたエレクトロメカニカルスイッチを実証した。各膜は大気圧化学蒸着により蒸着した。層間に約5Vをかけると上側の膜は下の膜に引張られて電気接触した。接触はバイアスを除去した後,機械的な回復力によって破壊された。この素子は,引き裂かれるまで数回スイッチした。低電圧でスイッチングが実証できたことから,グラフェンはエレクトロメカニカルスイッチの魅力的な材料であることが確かめられた。素子面積をグラフェン膜の1結晶分域以内にスケール変換すれば信頼性が改善できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,  化学蒸着 ,  *グラファイト ,  接触 ,  バイアス ,  スイッチング ,  電流電圧特性 ,  *マイクロスイッチ ,  *グラフェン
準シソーラス用語： MEMSスイッチ

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 化学蒸着 ,  グラフェン