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J-GLOBAL ID：200902201722539122   整理番号：09A1161461

CF₄/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電の放電特性

Characteristics of Dielectric Barrier Discharge in Atmospheric Pressure CF₄/He/Ar Mixtures

著者 (5件)： 荒井翔太 (首都大学東京) ,  出原慎 (首都大学東京) ,  白井直機 (首都大学東京) ,  内田諭 (首都大学東京) ,  杤久保文嘉 (首都大学東京)
資料名： 電気学会パルスパワー研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PPT-09  号： 93-101  ページ： 27-32  発行年： 2009年10月22日 
JST資料番号： L4030A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧下で,He,Arで希釈したCF₄混合気体を同軸円筒型の誘電体バリア放電に流入し,ガス組成や周波数,印加電圧等をパラメータとして,その放電特性を調査した。その結果,ガス組成や周波数,印加電圧の条件によって放電特性の変化が見られた。50Hzの交流電圧印加時は,ガス組成によらずフィラメント状放電が観測され,100kHzではグロー放電あるいはフィラメントを含むグロー放電が観測された。CF₄とArが共存する気体中では,周波数を問わず特徴的なCF₄由来と考えられる橙色発光が確認された。

シソーラス用語： *混合気体 ,  ヘリウム ,  アルゴン ,  フロン ,  *無声放電 ,  *グロー放電 ,  発光分光法
準シソーラス用語： *誘電体バリア放電 ,  *バリア放電 ,  発光分光

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

物質索引 (1件)： 四ふっ化メタン

引用文献 (9件)：

• T. Kuroki, S. Tanaka, M. Okubo, T Yamamoto:“Low pressure pulse-modulated and radio-frequency plasma for CF₄ decomp-osition”, Conference Record-IAS Annual Meeting (IEEE Industry Applications Society) 4, art. No.1518871, pp. 2900-2905(2005)
• T. Kuroki, S Tanaka, O. Masaaki, Y. Toshiaki:“CF₄ Decomposition Using Low-Pressure Pulse-Modulated Radio Frequency Plasma”, Jpn Soc Mech Eng, Vol.48, pp. 440-447(2009)
• A. Ogata, Kim H-H. S. Futamura, S. Kushiyama, K. Mizuno:“Effects of catalysts and additives on fluorocarbon removal with surface discharge plasma”: Applied Catalysis B, Vol.53, pp. 175-180(2004)
• Malilena T. Radoiu:“Studies on atmospheric plasma abatement of PFCs”, Radiation Physics and Chemistry, Vol.69, pp. 113-120(2004)
• S. Futamura, A. Gurusamy:“Synergy of nonth-ermal plasma and catalysts in the decomposition of fluorinated hydrocarbons”, Journal of Electrostatics, Vol.63, pp949-954,(2005)

タイトルに関連する用語 (4件)： 希ガス ,  混合気体 ,  大気圧誘電体バリア放電 ,  放電特性