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文献
J-GLOBAL ID:200902202252478527   整理番号:09A0420774

選択成長GaN/AlNテンプレート上におけるAlGaN薄膜成長過程の電顕解析

著者 (8件):
資料名:
巻: 56th  号:ページ: 388  発行年: 2009年03月30日 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
分類
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半導体薄膜 

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