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J-GLOBAL ID：200902202287579881   整理番号：08A1115541

走査型白色干渉顕微鏡に内蔵可能な光路差変化量のリアルタイム測定法

Real-Time Changing-OPD Measurement Technique Applicable to a Scanning White-Light Interference Microscope

著者 (3件)： 安達正明 (金沢大 理工学域) ,  藤本健太 (パイオニア) ,  平野勇輝 (ジーシー)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 74  号： 11  ページ： 1215-1219  発行年： 2008年11月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微小物体の3次元形状を非接触で高速高精度に測定するには各種の光学顕微鏡が利用でき,この中で0.1μmの高分解能測定にも対応するのは白色干渉顕微鏡法である。本報では走査型白色干渉顕微鏡を用いて振動環境下で高精度な3次元形状測定をする場合に必要となる「顕微鏡に内蔵可能な光路差変化量の測定方法(測定対象物体と干渉顕微鏡の間隔をリアルタイム測定するための技術)」について述べた。実際の振動環境下でこの技術を適用するには,高速ラインカメラとそのデジタル出力を取込んだ後に変位を高速計算するFPGA(Field Programmable Gate Array)とが必要で,著者らは現在その開発を行っている。計算アルゴリズムも簡単なためFPGAはリアルタイム性も十分な性能がある。ただしプログラムを完全なものにリファインし顕微鏡に組込み振動環境下で正確な計測するにはまだ多くの作業が必要である。本報では顕微鏡に内蔵可能な光路差変化量の測定手法とその実験結果について報告した。これにより得た主な知見を次に示した。1)白色干渉顕微鏡を用いる走査型3次元形状測定装置に追加して,測定物体と対物レンズ間の光路差をリアルタイム測定するための光学系を提案し,その光学系が正しく機能すること,2)カメラで取込む干渉縞から高い精度で光路差変化量を計算する新しいアルゴリズムを提案し,それは96000nmのテーブル走査量に関して繰返し誤差が約十nmであること。

シソーラス用語： *三次元測定 ,  *形状測定 ,  *微細構造 ,  非接触測定 ,  測定精度 ,  *干渉顕微鏡 ,  ナノ構造 ,  *実時間処理 ,  FPGA ,  CCDカメラ ,  振動 ,  測定誤差
準シソーラス用語： 光路差

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• Laser-Tec. リアルカラーコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS-C130」
• SHIMADZU. 走査型共焦点レーザ顕微鏡「OLS1100」
• LARKIN, Kieran G. Efficient nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry. J. Opt. Soc. Am. A. 1996, 13, 4, 832
• 石原満宏. 非走査マルチヒビーム共焦点撮像系による高速三次元計測. 精密工学会誌. 1998, 64, 7, 1022
• HARASAKI, A. Improved vertical-scanning inter-ferometry. Appl. Opt. 2000, 39, 13, 2107

タイトルに関連する用語 (7件)： 走査型 ,  白色 ,  干渉顕微鏡 ,  光路差 ,  変化量 ,  リアルタイム ,  測定法