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J-GLOBAL ID：200902202818223785   整理番号：09A0773550

高温塑性変形で得られた成形シリコンウエハ: 将来の天文X線望遠鏡のための性能評価

Shaped silicon wafers obtained by hot plastic deformation: performance evaluation for future astronomical x-ray telescopes

著者 (7件)： EZOE Yuichiro ,  SHIRATA Takayuki ,  MITSUISHI Ikuyuki ,  ISHIDA Manabu ,  MITSUDA Kazuhisa ,  MORISHITA Kohei ,  NAKAJIMA Kazuo
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 48  号： 19  ページ： 3830  発行年： 2009年07月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 軽量で高角度分解能のX線反射鏡を開発するために,4インチのケイ素(111)ウエハの高温塑性変形を検討した。曲率半径1000mmの半球ダイを用いてサンプルウエハを変形した。変形ウエハの定半径は1030mmであることから,良好な成形のためには,更なる調整が不可欠なことが分かった。1.49keVのAl K_αにおいて,変形ウエハのX線反射を初めて検出した。X線反射曲線から推定した表面粗さは1nm以下で,これは,変形のない裸のシリコンウエハに相当した。このため,微小粗さの著しい劣化はまったく見られなかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  半導体材料 ,  ケイ素 ,  *X線望遠鏡 ,  性能評価 ,  塑性変形 ,  高温 ,  *天体望遠鏡 ,  分解能 ,  X線反射 ,  表面粗さ ,  反射鏡 ,  曲率 ,  成形性 ,  半球
準シソーラス用語： *シリコンウエハ ,  角度分解能 ,  曲率半径

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  宇宙線・天体物理観測技術  (DB01000N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 塑性変形 ,  シリコンウエハ ,  X線望遠鏡 ,  性能評価