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J-GLOBAL ID：200902203053029345   整理番号：08A0776528

ホウケイ酸ガラス中への中空コアソレノイドマイクロコイルの製作のためのプロセス

Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass

著者 (5件)： KLEIN Mona J K (Univ. Freiburg, DEU) ,  KLEIN Mona J K (CSEM, Neuchatel, CHE) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., JPN) ,  ESASHI Masayoshi (Tohoku Univ., JPN) ,  KORVINK Jan G (Univ. Freiburg, DEU)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18  号： 7  ページ： 075002,1-6  発行年： 2008年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10回巻き中空マイクロコイルを新しい技術手法により製作した。このマイクロコイルの目的とする応用は,小容積標本の高解像度MRIの受信コイルとして使うためである。銅コイルを二つの陽極接合ホウケイ酸ガラスウエハの内部に埋め込んだ。シリコンと比べるとガラスは,高周波で誘電特性が優れている利点を有している。光学的に透明なので,コイル内部にMRI標本を位置決めするのが容易である。コイル構造と接合パッド基板の面内にあるので,外部調整およびマッチング回路への接続は,最先端の接合およびハイブリッド集積技術を用いて行うことができる。この製作プロセスにより,高い充填率と直接マイクロ流体集積を実現した。20×20mm²サイズの基板上に,64コイルを同時に製作できた。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *ソレノイド形コイル ,  ホウケイ酸ガラス ,  *生産工程 ,  NMRイメージング ,  受信機 ,  銅 ,  接合 ,  ウエハ【IC】 ,  混成集積回路 ,  陽極接合
準シソーラス用語： ガラスウエハ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (4件)： ホウケイ酸ガラス ,  中空 ,  製作 ,  プロセス