低開口数光投影リソグラフィーによる銅被覆プラスチック基板上への低コスト高性能微細加工法

文献

J-GLOBAL ID：200902203289529829 整理番号：03A0506440

Low-Cost and High-Performance Micro-Fabrication Method Using Low Numerical-Aperture Optical Projection Lithography on Copper-Clad Plastic Boards

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巻： 42 号： 6B ページ： 4031-4036 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

標記微細加工法を開発するために,厚く被覆したレジストにおける...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (8件)：

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