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J-GLOBAL ID：200902203574984521   整理番号：06A0356559

窒素添加タングステン酸化物薄膜の光学的特性

Optical Properties of Tungsten Oxide Thin Films Doped with Nitrogen

著者 (5件)： 松本皓永 (明治大) ,  中川晃一 (明治大) ,  三浦登 (明治大) ,  中野鐐太郎 (明治大) ,  松本節子 (明治大)
資料名： 明治大学科学技術研究所紀要  (Memoirs of the Institute of Science and Technology, Meiji University)
巻： 44  号： 2  ページ： 9-15  発行年： 2006年01月13日 
JST資料番号： G0780A  ISSN： 0386-4944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： タングステン酸化物薄膜への窒素添加を試みた。作製方法としては...

シソーラス用語： スパッタリング ,...
準シソーラス用語： 価電子帯 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒素添加 ,  タングステン ,  酸化物薄膜 ,  光学的特性