マイクロスケールおよびナノスケール実装の自己組織化  自己実装に向けての歩み

MORRIS Christopher J.; STAUTH Sean A.; PARVIZ Babak A.

文献

J-GLOBAL ID：200902203727302883 整理番号：05A1014222

マイクロスケールおよびナノスケール実装の自己組織化自己実装に向けての歩み

Self-Assembly for Microscale and Nanoscale Packaging: Steps Toward Self-Packaging

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巻： 28 号： 4 ページ： 600-611 発行年： 2005年11月
JST資料番号： W0590A ISSN： 1521-3323 CODEN： ITAPFZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロメータ・スケールでは二次元および三次元自己組織化プロ...

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固体デバイス製造技術一般

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