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J-GLOBAL ID：200902204016210320   整理番号：03A0459650

LSI用Alパッドに対するジンケート前処理のシミュレーション実験

Experimental Simulation for Zincate Pretreatment of Al Pad Connected to LSI Circuit

著者 (3件)： 安住和久 (北大 大学院工学研究科) ,  小山有一 (メルテックス) ,  川島敏 (メルテックス)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 54  号： 6  ページ： 422-427  発行年： 2003年06月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記を目的に次の実験を行なった。1)ガラス基板にマグネトロン...

シソーラス用語： LSI【IC】 ,...
準シソーラス用語： 置換めっき

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分類 (2件)： 無電解めっき  (WC08024S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• 1) 高瀬喜久, 岡崎直毅 ; MES’97 予稿集, p. 113 (1997)
• 2) 牧野 豊, 渡辺英二, 兒玉邦夫, 水越正孝, 山田光隆 ; MES’98 予稿集, p. 113 (1998)
• 3) K. Azumi, T. Yugiri, M. Seo and S. Fujimoto ; J. Elechtrochem. Soc., 148, C 433 (2001)
• 4) 表面技術協会 編 ; 表面技術便覧 (日刊工業新聞社, 1998)
• 5) 安住和久, 瀬尾真浩, Leonard Nanis ; 表面技術, 47, 529 (1996)

タイトルに関連する用語 (5件)： LSI ,  Al ,  パッド ,  前処理 ,  シミュレーション実験