触媒用厚膜/SnO<sub>2</sub>薄膜の二重層ならびに薄膜ヒータをベースとしたマイクロマシンガスセンサ  II:一酸化炭素の検知

TABATA S; HIGAKI K; OHNISHI H; SUZUKI T; KUNIHARA K; KOBAYASHI M

文献

J-GLOBAL ID：200902204024523868 整理番号：04A0575970

触媒用厚膜/SnO₂薄膜の二重層ならびに薄膜ヒータをベースとしたマイクロマシンガスセンサ II:一酸化炭素の検知

A Micromachined Gas Sensor Based on a Catalytic Thick Film/SnO₂ Thin Film Bilayer and Thin Film Heater: Part2: CO Sensing

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著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 20 号： Supplement B ページ： 312-313 発行年： 2004年07月11日
JST資料番号： L3948A CODEN： KAGSEU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

検知層としてのSnO₂薄膜を酸化けい素...

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分析機器

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触媒用厚膜/SnO2薄膜の二重層ならびに薄膜ヒータをベースとしたマイクロマシンガスセンサ II:一酸化炭素の検知

触媒用厚膜/SnO₂薄膜の二重層ならびに薄膜ヒータをベースとしたマイクロマシンガスセンサ II:一酸化炭素の検知