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J-GLOBAL ID：200902204076308809   整理番号：08A0974012

Siプリズムと回折格子を備えたMEMS近赤外用SPRセンサ

Planar Near-Infrared Surface Plasmon Resonance Sensor with Grating Coupler and Si Prism

著者 (5件)： 菅哲朗 (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  辻内直子 (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  岩瀬英治 (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  松本潔 (Univ. Tokyo, Tokyo) ,  下山勲 (Univ. Tokyo, Tokyo)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2008  号： Vol.8  ページ： 279-280  発行年： 2008年08月02日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： MEMS ,  *バイオセンサ ,  *光センサ ,  近赤外線 ,  *プリズム ,  ナノ構造 ,  回折格子
準シソーラス用語： *SPRセンサ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  プリズム ,  回折格子 ,  MEMS ,  近赤外 ,  SPRセンサ