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J-GLOBAL ID：200902204161825634   整理番号：06A0932159

スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第9報)-SIDMを利用した位置決めステージへの応用-

著者 (5件)： 吉田龍一 (コニカミノルタオプト) ,  干野隆之 (コニカミノルタオプト) ,  藤井秀一 (コニカミノルタオプト) ,  飯田克彦 (ナノコントロール) ,  古田淳 (ナノコントロール)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2006  号： 春季(CD-ROM)  ページ： K75  発行年： 2006年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *駆動機構 ,...

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分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 駆動機構 ,  開発 ,  ステージ ,  応用