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J-GLOBAL ID：200902204691023709   整理番号：07A1007673

超音波測定法によるCZ-Si結晶中の原子空孔濃度分布評価

著者 (7件)： 昆金正敏 (新潟大 大学院) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  渡邉肇 (新潟大 大学院) ,  柳澤達也 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  中村慎太郎 (東北大 金属材料研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 1  ページ： 433  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超音波測定法 ,  Si結晶 ,  原子空孔 ,  濃度分布 ,  評価