Nd:YAGレーザーを用いたレーザー化学蒸着法により作製したα-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の集合組織と方位特性

ITO Akihiko; KADOKURA Hokuto; KIMURA Teiichi; GOTO Takashi

文献

J-GLOBAL ID：200902204827169605 整理番号：09A1252914

Nd:YAGレーザーを用いたレーザー化学蒸着法により作製したα-Al₂O₃薄膜の集合組織と方位特性

Texture and orientation characteristics of α-Al₂O₃ films prepared by laser chemical vapor deposition using Nd:YAG laser

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資料名：
巻： 489 号： 2 ページ： 469-474 発行年： 2010年01月21日
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

レーザー化学蒸着法(LCVD)によりα-Al₂O₃薄膜を作製し,Al₂O₃薄膜の相,方位及び集合組織に及ぼすプリカーサー蒸発温度(T_vap),全チャンバー圧力(P_tot),レーザー出力(P_L)及び蒸着温度(T_dep)の影響を調べた。P_tot=0.93kPaでは,T_vap>423K及びT_dep>1100Kの範囲でα-Al₂O₃薄膜が得られた。α-Al₂O₃薄膜の方位は,P_totの増加により(110)から(012)へまた(104)へ更に(006)へ変化した。高温のT_vap(443K)且つ低P_tot(0.47kPa)では多孔質のα-Al₂O₃薄膜が形成された。T_vap=413Kではα-Al₂O₃薄膜は六方晶で微細な切り出し面でエッジを持った矩形の板状粒出会った。P_totが0.93~1.4kPaで増加すると,六方晶のテラス集合組織を有する(006)方位のα-Al₂O₃薄膜が得られた。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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酸化物薄膜

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Nd:YAGレーザーを用いたレーザー化学蒸着法により作製したα-Al2O3薄膜の集合組織と方位特性

Nd:YAGレーザーを用いたレーザー化学蒸着法により作製したα-Al₂O₃薄膜の集合組織と方位特性