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J-GLOBAL ID：200902204870483798   整理番号：05A0826457

透明弾性体のスタンプを使用したソフトコンタクト光学リソグラフィー:ナノパターン化した有機発光デバイスへの応用

Soft-Contact Optical Lithography Using Transparent Elastomeric Stamps: Application to Nanopatterned Organic Light-Emitting Devices

著者 (6件)： LEE Tae-Woo (Lucent Technol., NJ, USA) ,  JEON Seokwoo (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  MARIA Joana (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  ZAUMSEIL Jana (Lucent Technol., NJ, USA) ,  HSU Julia W. P. (Lucent Technol., NJ, USA) ,  ROGERS John A. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
資料名： Advanced Functional Materials  (Advanced Functional Materials)
巻： 15  号： 9  ページ： 1435-1439  発行年： 2005年09月 
JST資料番号： W1336A  ISSN： 1616-301X  CODEN： AFMDC6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学マスクとしてPDMS(ポリジメチルシロキサン)スタンプ(...

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 弾性体 ,  スタンプ ,  ソフト ,  コンタクト ,  光学 ,  リソグラフィー ,  ナノパターン ,  有機発光デバイス ,  応用