文献

J-GLOBAL ID：200902205298113263   整理番号：03A0080065

CMOSベースの化学マイクロセンサ

CMOS-based chemical microsensors.

著者 (2件)： HIERLEMANN A (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  BALTES H (ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名： Analyst  (Analyst)
巻： 128  号： 1  ページ： 15-28  発行年： 2003年01月 
JST資料番号： A0392A  ISSN： 0003-2654  CODEN： ANALAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CMOS構造及びバルクと表面のマイクロマシンニング技術,CM...

シソーラス用語： *化学センサ ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： CMOS ,  化学 ,  マイクロセンサ