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J-GLOBAL ID:200902205349852007   整理番号:03A0559261

ナノコピー法による3次元ナノ構造の作成

Preparation of three-dimensional nano-structure by the nano-copying method.
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 20-27  発行年: 2003年08月10日 
JST資料番号: L4328A  ISSN: 1346-0986  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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3次元的に複雑な構造をもつナノ構造の作成技術は,ナノテクノロ...
シソーラス用語:
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