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J-GLOBAL ID：200902205357375323   整理番号：07A0078105

窒素分子およびイオンビームを用いた炭酸バリウム電子ビーム蒸着によりシリコンウエハ上に蒸着した炭化バリウムと硝酸バリウムとの混合薄膜に関する誘電定数

Dielectric Constants on Mixture Thin Films of Barium Carbide and Barium Nitrate Deposited on Silicon Wafers by Barium Carbonate Electron Beam Evaporation Using Nitrogen Molecular and Ion Beams

著者 (2件)： YOKOTA Katsuhiro (Kansai Univ., Osaka, JPN) ,  TERAMOTO Yuuki (Kansai Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45  号： 12  ページ： 9129-9136  発行年： 2006年12月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭化バリウム(BaC₆)薄膜を,炭酸バ...

シソーラス用語： 混合物 ,...
準シソーラス用語： 炭酸バリウム

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  誘電体一般  (BM05010F)

引用文献 (24件)：

• The International Technology Roadmap for Semiconductors, 2004 Update, http://public.itrs.net Update/Home.
• D. S. Gardner, J. D. Meindle and K. C. Saraswat: IEEE Trans. Electron Devices 34(1987)633.
• M. Borhr and Y. A. Elmansy: IEEE Trans. Electron Devices 45(1998)620.
• S. Beaudoin, S. Graham, R. Jaiswal, C. Kilroy, B. S. Kim, G. Kumar and S. Smith: Interface 14(2005)35.
• Joint Committee for Powder Diffraction Standards, Powder Diffraction File (Int. Center for Diffraction Data, Park Lane, 1989) No.3-0468.

タイトルに関連する用語 (11件)： 窒素分子 ,  イオンビーム ,  炭酸バリウム ,  電子ビーム蒸着 ,  シリコンウエハ ,  蒸着 ,  炭化 ,  バリウム ,  硝酸バリウム ,  薄膜 ,  誘電定数