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J-GLOBAL ID：200902205588231987   整理番号：08A0206488

けい素基板面に熱フィラメントCVD法で形成したナノ結晶性ダイヤモンドの粒径や残留応力のX線回折分析

X-ray Diffraction Studies on Grain Size of Nanocrystalline Diamond and Residual Stress on Silicon Substrate Prepared by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition

著者 (3件)： TOPON Ong-On (Khon Kaen Univ., Khon Kaen, THA) ,  AMORNKITBAMRUNG Vittaya (Khon Kaen Univ., Khon Kaen, THA) ,  BURINPRAKHON Thanusit (Khon Kaen Univ., Khon Kaen, THA)
資料名： New Diamond and Frontier Carbon Technology  (New Diamond and Frontier Carbon Technology)
巻： 17  号： 5  ページ： 221-229  発行年： 2007年 
JST資料番号： L1952A  ISSN： 1344-9931  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学気相成長(CVD)法で形成したダイヤモンド状薄膜の安定性...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： ダイヤモンド状薄膜 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： けい素基板 ,  熱フィラメントCVD ,  ナノ結晶 ,  ダイヤモンド ,  粒径 ,  残留応力 ,  X線回折分析