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J-GLOBAL ID：200902205964347819   整理番号：09A0090242

ジュール・トムソン型マイクロ冷凍機に関する研究

Study of Joule-Thomson micro-cooler

著者 (7件)： 田辺厚 (九大) ,  立川孝幸 (九大) ,  久保田裕巳 (九大) ,  進藤健太 (九大) ,  河野正道 (九大) ,  高橋厚史 (九大) ,  高田保之 (九大)
資料名： 日本機械学会動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集  (動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集)
巻： 13th  ページ： 425-426  発行年： 2008年06月18日 
JST資料番号： L2278A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンウェハ上にMEMS技術により微細な流路を作成し,ジュール・トムソン型マイクロ冷凍機を製作した。冷凍機は向流式再生熱交換器と絞り部で構成されている。冷媒はエチレンであり,入口と出口圧力はそれぞれ2.5MPaと0.1MPaである。質量流量9.98mg/sのとき,絞り出口の温度が270Kまで降下した。また,再生熱交換器の素材に感光性ガラスを用いた場合の温度降下を測定した。(著者抄録)

シソーラス用語： *Joule-Thomson効果 ,  チャネル ,  マイクロマシン ,  ウエハ【IC】 ,  半導体材料 ,  *MEMS ,  *冷凍機 ,  向流 ,  再生 ,  熱交換器 ,  断面縮小率 ,  冷媒 ,  圧力損失 ,  温度依存性 ,  感光性ガラス ,  アルケン ,  マイクロチャネル ,  シリコンウエハ ,  流体流
準シソーラス用語： マイクロ流路

分類 (3件)： 伝熱一般・基礎  (PA02010O) ,  冷凍装置  (PD03000T) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

物質索引 (1件)： エチレン

タイトルに関連する用語 (4件)： ジュール ,  マイクロ ,  冷凍機 ,  研究