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J-GLOBAL ID：200902206042723770   整理番号：06A0022508

ガスセンサ特性に及ぼす拡散電極膜組成の影響

Effect of the diffusion electrode membrane composition on the gas sensor characteristics.

著者 (5件)： 水谷好孝 (理研計器) ,  水谷好孝 (山梨大 工) ,  松田裕之 (理研計器) ,  石地徹 (理研計器) ,  古屋長一 (山梨大 工)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 126  号： 1  ページ： 19-23  発行年： 2006年01月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造工程においてAsH₃などの毒...

シソーラス用語： *ガスセンサ ,...
準シソーラス用語： ガス透過膜 ,...

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分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  分析機器  (CC02020S) ,  有害ガス調査測定  (SB03050T)

引用文献 (6件)：

• (1) T. Ishiji, T. Iijima and K. Takahashi : “Electrochemical Sensing of Arsine and Silane by the Amperometric Gas Sensor Using Gold Electrode”, Denki Kagaku, Vol. 64, No. 12, pp. 1304-1310 (1996)
• (2) 石地 徹:「環境ガスモニタリングのための新規電気化学センサの開発」,Electrochemistry, Vol. 69, No. 4, pp. 285-288 (2001)
• (3) Y. Mizutani, H. Matsuda, T. Ishiji, N. Furuya, and K. Takahashi : “Improvement of electrochemical NO₂ sensor by use of carbon-fluorocarbon gas permeable electrode”, Sensors and Actuators B Vol. 108, pp. 815-819 (2005)
• (4) 古屋長一:「ガス拡散電極」,表面技術, Vol. 42, No. 8, pp. 800-804 (1991)
• (5) Y. Mizutani, H. Matuda, T. Ishiji, and N. Furuya : “Amperometric Gas Sensor Using Gas Diffusion Membrane Consisting of Carbon Powder and Fluorocarbon”, IEEJ Trans. SM, Vol. 124, No. 11, pp. 402-406 (2004.11) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガスセンサ ,  拡散 ,  膜組成