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J-GLOBAL ID：200902206540772311   整理番号：09A0508794

窒素雰囲気におけるレーザ照射によるチタン上の表面反応に関するX線光電子分光研究

X-ray photoelectron spectroscopic study on surface reaction on titanium by laser irradiation in nitrogen atmosphere

著者 (4件)： OHTSU Naofumi (Instrumental Analysis Center, Kitami Inst. of Technol., 165 Koen-cho, Kitami, Hokkaido 090-8507, JPN) ,  KODAMA Kenji (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, JPN) ,  KITAGAWA Kuniyuki (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, Aichi 464-8603, JPN) ,  WAGATSUMA Kazuaki (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8577, JPN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 255  号： 16  ページ： 7351-7356  発行年： 2009年05月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素雰囲気中でのパルスNd:YAGレーザ照射によるチタン上の表面反応をX線光電子分光法(XPS)を使用して調べた。波長532nm(SHGモード)のレーザを雰囲気制御チャンバ内でチタン基板に照射し,それを空気にさらすことなくXPS分析チャンバに移した。このその場XPS法により固有の表面反応をはっきりと観測することができた。表面層の特性は窒素気体の圧力に強く依存した。圧力が133kPaのとき,酸窒化物及び化学量論組成の窒化チタンがそれぞれチタン基板の最上部及びそれより下の表面層を形成した。しかし,圧力が13.3kPa以下のときは少量の窒素を含む化学量論組成でない酸化チタン層が形成された。レーザショットの反復は酸化層の形成を促進し,その形成は数レーザショット内で終了した。初期の構造が形成された後では,表面層の化学状態はレーザショットの反復による影響をあまり受けなかった。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： Nd-YAGレーザ ,  第二高調波発生 ,  *チタン ,  表面反応 ,  *パルスレーザ照射 ,  *X線光電子スペクトル ,  *窒化 ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  その場観察 ,  化学量論 ,  セラミック被覆 ,  表面処理
準シソーラス用語： *窒化チタン

分類 (3件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 窒素雰囲気 ,  レーザ照射 ,  チタン ,  表面反応 ,  X線光電子分光 ,  研究