方向性珪素鋼板への熱CVD法によるセラミックス被膜形成技術の適用

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J-GLOBAL ID：200902206583374174 整理番号：04A0659621

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巻： 17 号： 6 ページ： 1330 発行年： 2004年09月01日
JST資料番号： X0994A ISSN： 0914-6628 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

熱CVD法を用いて鏡面珪素鋼板に張力付与被膜としてTiN及び...

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気相めっき , 金属材料へのセラミック被覆

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