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J-GLOBAL ID：200902206675954908   整理番号：05A0532868

マイクロマシニングにより作製された二重膜構造の熱電気水素センサ

Micromachined Thermoelectric Hydrogen Sensor of Double-Membrane Structure
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著者 (6件)：
TAJIMA Kazuki

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(AIST, Nagoya, JPN)

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CHOI Yeongsoo

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(AIST, Nagoya, JPN)

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SHIN Woosuck

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(AIST, Nagoya, JPN)

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IZU Noriya

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(AIST, Nagoya, JPN)

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MATSUBARA Ichiro

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(AIST, Nagoya, JPN)

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MURAYAMA Norimitsu

MURAYAMA Norimitsu について

(AIST, Nagoya, JPN)

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資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters について


巻： 44  号： 12-15  ページ： L367-L370  発行年： 2005年04月10日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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けい素基板の異方性エッチングにより作製した膜上の二つの同一マ...
シソーラス用語：
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*マイクロマシニング

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分析機器 
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熱電気

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水素センサ

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