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J-GLOBAL ID：200902207087108444   整理番号：08A0964215

複合ビーム加工観察装置JIB-4500の特長

著者 (1件)： 鈴木俊明 (日本電子)
資料名： 日本電子News
巻： 40  ページ： 52-53  発行年： 2008年 
JST資料番号： Y0013A  ISSN： 0386-6572  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高分解能走査電子顕微鏡とFIBを結合した複合ビーム加工観察装置(JIB-4500)は,多機能マルチビームシステムである。このシステムはマルチビームシステムであり,FIBによる断面加工,走査電子顕微鏡(SEM)観察およびエネルギー分散分光(EDS)分析等に使用可能である。本装置は,材料解析,電子部品の不良解析,電子顕微鏡(SEM,TEM)の試料調整の利用用途に有効である。

シソーラス用語： *イオンビーム加工 ,  電子ビーム加工 ,  *走査電子顕微鏡 ,  高分解能 ,  試料調製 ,  *集束イオンビーム ,  *電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： レーザビーム加工 ,  試料作製

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： ビーム ,  観察装置 ,  特長