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J-GLOBAL ID：200902207601112260   整理番号：09A1021206

超小型MEMS3軸触覚センサチップ

3-axis Tactile Sensor Chip by MEMS Technologies

著者 (5件)： 中井亮仁 (東大) ,  田中悠輔 (東大) ,  橋本康史 (東大) ,  松本潔 (東大) ,  下山勲 (東大)
資料名： 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM)  (日本ロボット学会学術講演会(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.3E2-08  発行年： 2009年09月15日 
JST資料番号： L4867A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,家庭での家事介護支援や公共の場での労働支援など,従来よりも人に近い場所でのロボットの実用化が期待されている。このような環境下でロボットが安心・安全に動作するためには,人や物との予期せぬ接触を確実に検知し,ハンドで主体的に接触する際には適切な力で的確にコンタクトする必要がある。これらの機能を実現するためのデバイスとして,本研究ではMEMS技術を用いて製作した小型の3軸触覚センサチップを提案する。試作したデバイスは一辺が2mm,高さが0.8mmと十分に小さく,曲面にも実装できるサイズである。さらに任意の硬さの柔軟材料で埋めることで,センサの感度を自由に設定することも可能である。(著者抄録)

シソーラス用語： 小型 ,  *触覚センサ ,  *MEMS ,  片持梁 ,  圧抵抗効果 ,  埋込み【挿入】 ,  ポリジメチルシロキサン
準シソーラス用語： 超小型 ,  *センサチップ ,  圧電抵抗

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (1件)： 触覚センサ