抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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単一自由度のアクチュエータを重ね合わせることにより多自由度のアクチュエータを得る構成構成では,精度を高めたり,さらに応答をよくするなどのダイナミックスを向上させることが難しい。このため,多くの自由度で直接駆動する技術の開発が新しい課題となっている。そこで,平面上の大きな範囲を移動できる小型移動素子を備えた3つの自由度を持つアクチュエータについて述べた。前回は,移動範囲のどこにおいても推力を発生することのできる平面アクチュエータを開発し,並進移動方向でのこのアクチュエータの二次元的駆動を実演した。しかし,平面上での並進移動制御の間に,微小な振動的な変向運動が発生した。アクチュエータの推力とトルクは,それぞれd-軸電流およびq-軸電流に比例し,これらは移動素子の永久磁石からの磁束として90°および0°の位相の進んだ磁束をそれぞれ発生する。このため,推力とトルクはd-軸電流およびq-軸電流によってそれぞれ独立に発生させることができる。新しい設計では,平面上の変向と並進移動とを制御するために,平面アクチュエータに対しデカップリング制御を用いた。このアクチュエータについて実験的に得られた駆動特性を述べた。実験結果は,この移動素子は変向と並進移動が広い範囲にわたって独立であるとともに,位置決めと応答の精度が高いことを示す。この結果,3つの自由度をもつ平面アクチュエータの実演を満足な形で実施することがきた。