文献

J-GLOBAL ID：200902208029633063   整理番号：05A0223701

けい素の微細加工技術に基づくマイクロフォトニックスデバイス

Microphotonics Devices Based on Silicon Microfabrication Technology.

著者 (9件)： TSUCHIZAWA T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  YAMADA K (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  FUKUDA H (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  WATANABE T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAKAHASHI J (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAKAHASHI M (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  SHOJI T (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  TAMECHIKA E (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN) ,  ITABASHI S (NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 11  号： 1  ページ： 232-240  発行年： 2005年01月 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SOI構造に基づくSiワイヤ導波路は,高密度超小型光回路やマ...

シソーラス用語： *集積光学 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0223701&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W0734A") }}

分類 (1件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (2件)： けい素 ,  微細加工技術