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J-GLOBAL ID:200902208029633063   整理番号:05A0223701

けい素の微細加工技術に基づくマイクロフォトニックスデバイス

Microphotonics Devices Based on Silicon Microfabrication Technology.
著者 (9件):
資料名:
巻: 11  号:ページ: 232-240  発行年: 2005年01月 
JST資料番号: W0734A  ISSN: 1077-260X  CODEN: IJSQEN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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SOI構造に基づくSiワイヤ導波路は,高密度超小型光回路やマ...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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光集積回路,集積光学 
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