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J-GLOBAL ID：200902208165500352   整理番号：05A0427687

変調ZnSe系白色LED光源低コヒーレンス干渉計を用いた膜厚計測

著者 (6件)： 太田貴之 (和歌山大 シス工) ,  八木奈津子 (和歌山大 シス工) ,  中野万作 (和歌山大 大学院システム工研究科) ,  椎名達雄 (千葉大 工) ,  伊藤昌文 (和歌山大 シス工) ,  岡村康行 (大阪大 大学院基礎工研究科)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 52nd  号： 3  ページ： 1133  発行年： 2005年03月29日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光干渉法 ,...

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分類 (3件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  発光素子  (NC03082G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 変調 ,  ZnSe ,  白色 ,  LED光源 ,  コヒーレンス ,  干渉計 ,  膜厚計測