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J-GLOBAL ID：200902208254756212   整理番号：05A1045594

薄膜太陽電池用にRFマグネトロンスパッタリングで作製した集合組織化ZnO:Al膜の性質

Properties of Textured ZnO:Al Films Prepared by RF Magnetron Sputtering for Thin Film Solar Cells

著者 (9件)： YOO Jinsu (Sungkyunkwan Univ., Suwon) ,  DHUNGEL S. K. (Sungkyunkwan Univ., Suwon) ,  GOWTHAM M. (Sungkyunkwan Univ., Suwon) ,  YI Junsin (Sungkyunkwan Univ., Suwon) ,  LEE Jeongchul (Korea Inst. Energy Res., Daejon) ,  KIM Seokki (Korea Inst. Energy Res., Daejon) ,  YOON Kyunghoon (Korea Inst. Energy Res., Daejon) ,  PARK I Jun (Korea Inst. Energy Res., Daejon) ,  SONG Jinsoo (Korea Inst. Energy Res., Daejon)
資料名： Journal of the Korean Physical Society  (Journal of the Korean Physical Society)
巻： 47  号： Supplementary 3  ページ： S576-S580  発行年： 2005年11月30日 
JST資料番号： T0357A  ISSN： 0374-4884  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 韓国 (KOR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化アルミニウムとZnOターゲットを混合したRFマグネトロン...

シソーラス用語： *太陽電池 ,...

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分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 薄膜太陽電池 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  集合組織 ,  ZnO ,  Al膜 ,  性質