文献

J-GLOBAL ID：200902208507478516   整理番号：08A0697107

高いQ値を持つバルク音響モード単結晶シリコンマイクロ共振器

A bulk acoustic mode single-crystal silicon microresonator with a high-quality factor

著者 (3件)： LEE J E-Y (Univ. Cambridge, GBR) ,  ZHU Y (Univ. Cambridge, GBR) ,  SESHIA A A (Univ. Cambridge, GBR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18  号： 6  ページ： 064001,1-6  発行年： 2008年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SOI MEMSファウンドリプロセスを使って,単結晶シリコンで製作したバルク音響モード共振器について報告した。測定した正方形縦モード共振器のQ値は,空気中で約15000であった。Q値の最高値は,0.013mBarの少し下の動作圧力で1.04百万が得られた。貫通成分がかなり大きいが,直列抵抗,Q値や共振周波数のような重要な共振器パラメータの抽出が可能なことを示した。抽出した直列抵抗の測定値は,等価回路モデルと一致し,貫通成分が大きい場合に対しても,マイクロマシニング共振器の完全な電気的キャラクタリゼーションのための簡単で正確な汎用手順を確立した。生の材料データから,抽出により貫通成分を分離する代わりに,打ち消し容量補償方式を用いて,回路レベルで貫通成分を打ち消すことが可能なことを示した。

シソーラス用語： Q値 ,  *ケイ素 ,  *単結晶 ,  *微小共振器 ,  SOI構造 ,  MEMS ,  音響共振器 ,  共振周波数 ,  パラメータ ,  測定データ ,  等価回路 ,  キャラクタリゼーション ,  電気的性質 ,  入出力特性 ,  *単結晶シリコン

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： Q値 ,  バルク ,  音響モード ,  単結晶シリコン ,  マイクロ共振器